檢測認證人脈交流通訊錄
- 主動隔振系統
TMC主動隔振系統STACIS?III
STACIS初設計用于隔離先進半導體工廠中的精密微平版印刷，計量和檢測設備，現在是噪聲環境中敏感儀器的行業標準解決方案，包括但不限于半導體工廠，故障分析實驗室，納米技術研究，納米制造設施和材料研究。
STACISIII包括一個新的和改進的數字控制器，DC-2020。新的雙核處理器和以太網以及前后面板上的USB串行端口，這個新的先進的控制系統為用戶提供了一個現代的，易于使用的圖形用戶界面（GUI）。通過數百個成功安裝，STACIS是振動敏感度高的儀器的理想振動消除系統。
TMC主動隔振系統STACIS?III特征及優點：
新改進型DC-2020數字控制器，提供易于使用的圖形用戶界面
隔振開始于0.6赫茲，1Hz時達到40％至70％的隔離率
頻率2赫茲和更高時，垂直和水平隔振率大于90％
降低基礎設施的要求和建設成本，即使有較大外界震動設備也可正常運行
有效隔振范圍，0.6Hz到150Hz
獲得眾多用戶的廣泛認可和肯定
6向自由度硬安裝設計，無需空氣懸架
強大的控制系統無需定期重新校準
point-of-use設計方案，與客戶現有隔振系統無縫兼容
隨著外部環境改變，系統自動調節以適應不同外部震動情形
TMC的STACIS?技術使用壓電執行器主動消振
數字控制器與基于PC的圖形用戶界面（GUI）
提高客戶產品產量、質量、成品率。
符合RoHS標準
寬的主動隔振帶寬，的低頻隔振效果
亞赫茲的主動震動消除，主要在0.6-6Hz頻段內的隔振
可堆疊式設計
主動硬式安裝結構、而非軟式懸浮、無低頻漂移、主動元件與剛性彈簧相連
被動彈簧濾除了來自STACIS傳感器的負載諧振，需要的調諧非常少，甚至無需調諧
由于阻抗不匹配，可兼容儀器內部隔離器
負載可達2000kg
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