檢測認證人脈交流通訊錄
LASERTEC 光掩模缺陷檢測系統 MATRICS X700系列
- 主要規格：
- hp45nmノード以降の最先端フォトマスクの欠陥検査?品質管理に最適な裝置 位相シフトマスク（EPSM、APSM）及びOPC（Optical Proximity Correction＝光近接効果補正）マスクに対応 光源に自社開発の213nm全固體レーザーを搭載し、高感度欠陥検出を達成 OHT自動搬送との接続等フレキシブルなインターフェイスが可能（オプション）
- 用 途：
- 「フォトマスク欠陥検査裝置 MATRICS X700シリーズ」は、レーザー?光関連産業の発展に大きく貢獻したことが評価され、一般社団法人レーザー學會より、レーザー學會産業賞「奨勵賞」を受賞いたしました。
- 特長
hp45nmノード以降の最先端フォトマスクの欠陥検査?品質管理に最適な裝置
位相シフトマスク（EPSM、APSM）及びOPC（Optical Proximity Correction＝光近接効果補正）マスクに対応
光源に自社開発の213nm全固體レーザーを搭載し、高感度欠陥検出を達成
OHT自動搬送との接続等フレキシブルなインターフェイスが可能（オプション）
「フォトマスク欠陥検査裝置 MATRICS X700シリーズ」は、レーザー?光関連産業の発展に大きく貢獻したことが評価され、一般社団法人レーザー學會より、レーザー學會産業賞「奨勵賞」を受賞いたしました。
用途
ウェハファブにおけるフォトマスクの受入検査および定期検査、ヘイズ検査
マスクショップにおける出荷前検査（ペリクル貼り付け後も検査可能）
仕様
検査方式 マルチダイモード（アレイモード含む）、 シングルダイモード 及びこれらの複合検査
検査光 3モード（透過光、反射光、透過/反射同時照明光）
検出感度 最高感度25nm ※検出感度は欠陥タイプ?検査方式により異なります
検査時間 105分 / 100mm2（ノーマルスキャン）
60分 / 100mm2（ファーストスキャン）
マスクサイズ 6025
深圳京都玉崎株式會社
- 地址：
- 江蘇蘇州市高新區竹園路7號中梁香緹商務廣場2棟1201室
主站蜘蛛池模板：
国产精品777|
国产一区二区视频在线免费观看|
久久久久久久久综合|
日本视频一区在线观看|
日韩在线中文视频|
日韩日本欧美亚洲|
欧美日本国产精品|
日韩一区不卡|
久久国产精品网站|
韩国成人一区|
精品中文字幕在线观看|
国产精品第一视频|
91久久夜色精品国产网站|
一区二区欧美日韩|
欧美中文字幕视频在线观看|
欧美成人免费在线观看|
久久亚洲私人国产精品va|
国产免费一区|
少妇av一区二区三区无码|
免费av在线一区|
国产精品日韩欧美综合|
国产精品91视频|
日韩人妻精品一区二区三区
|
懂色av一区二区三区四区五区|
在线国产精品网|
久久久久久国产精品免费免费|
国产精品第一视频|
免费毛片一区二区三区久久久|
国产欧美亚洲精品|
欧美大香线蕉线伊人久久|
zzjj国产精品一区二区|
99国产视频|
亚洲伊人久久大香线蕉av|
国产美女视频免费|
99免费视频观看|
99视频免费播放|
亚洲欧美日韩精品综合在线观看|
精品久久久久亚洲|
国产精品96久久久久久|
日韩欧美亚洲区|
久久久亚洲国产|
