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檢測認證人脈交流通訊錄

LASERTEC 光刻工藝檢測裝置 LX530

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  • 品　　牌：
  • LASERTEC
  • 主要規(guī)格：
  • 高S/N撮像信號により高感度CD測定実現 高速撮像のためウェハ全面測定が可能 下地パターンの影響をキャンセルできる獨自の光學系 業(yè)界初のCDU検査?分類機能搭載
  • 用　　途：
  • リソグラフィ工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理 エッチング工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理 ウェハ外周部CDのSPC管理
    • 特長 高S/N撮像信號により高感度CD測定実現 高速撮像のためウェハ全面測定が可能 下地パターンの影響をキャンセルできる獨自の光學系 業(yè)界初のCDU検査?分類機能搭載 用途 リソグラフィ工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理 エッチング工程におけるウェハ面內?ショット內?チップ內のCD分布管理 ウェハ外周部CDのSPC管理

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