檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
THS 雙面測量顯微鏡
- 用 途:
- 易拉罐沖壓后的厚度測量,晶圓厚度的直接測量
- 日本UNION公司THS-10是一款基于光學(xué)焦距檢測方法.結(jié)合兩個顯微光學(xué)系統(tǒng)(表面和底面),采用精密對焦指示器的非接觸式厚度測量系統(tǒng)。當(dāng)觀察到準(zhǔn)確的位置和圖象時,既可測量厚度,測量厚度10毫米, 可選:25毫米。本機(jī)采用光學(xué)系統(tǒng),操作簡單??汕宄@示準(zhǔn)確的對焦位。
案例:易拉罐沖壓后的厚度測量,晶圓厚度的直接測量. 測量誤差1微米,讀數(shù)精度0.1微米
厚度測量
測量步驟
1.在工作臺未放置工件時,垂直移動對焦系統(tǒng),待兩個顯示器上都顯示對焦的符號后,將Z軸計數(shù)器歸零.
2 放上工件,移動對焦系統(tǒng),對工件底部對焦。
3.移動上對焦系統(tǒng),對工件表面對焦。上對焦系統(tǒng)移動的距離即為工件的厚度
測量行程XY 100*100毫米 測量誤差1微米
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