美國矽翔微機電系統有限公司成都分公司

小流量氣體傳感器（FSG/MFGX系列）

產品概述: FS4000系列是美國矽翔微機電系統有限公司采用世界領先的微機電系統（MEMS）流量傳感技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，壓損低。適用于凈化空氣或氮氣流量監控，還可用于環保監測儀器，如空氣采樣和分析儀器9GC頻譜儀） FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低，壓損小，測量范圍最大到5SLMP，適用于粒子計數器和分析儀器等。 FS4008流量傳感器，測量范圍最大到50SLPM。可用于氣流測量和控制設備。應用于麻醉設備、潔凈氣體監控，如：空氣采樣機，氣體分析儀等。產品特點: - 專為管徑為3mm-8mm的固定氣道中的低壓氣體流量測量而設計 - 卡口式設計為多管路集成測量而設計 - 快速地響應時間利于精密測量應用 - 在麻醉機上表現卓越 - 可變機械連接方式可輕松安裝于不同的應用環境中 - 內置安全插件可適用于更多的應用機械尺寸: 產品特點: 　 FS4003 FS4008 單位通徑 3 8 mm 最大流量 2, 3, 4, 5 10, 20, 30, 40, 50 SLPM 量程比 >100:1 　精度 ±(1.5+0.2FS) % 重復性 ±0.75 % 最大壓力 1.0 MPa 工作溫度 -10~55 oC 濕度 < 95 %HR 電源 8-24Vdc, 50mA 輸出方式 RS232, I2C, 模擬機械接口 NPT, BSPT 或根據需要定制校準條件空氣, 20oC, 101.325 kPa

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張志英