矽翔微機電系統有限公司專門為醫療設備應用而設計、制造的MEMS系列流量傳感器產品，具有雙向、大流量、直接測量等功能。全密封設計可用液體醫用消毒液進行浸泡消毒，適用于呼吸機、麻醉設備、肺活量儀、肺功能儀、氧氣機及其他氣體測量相關設備。

　　FS1000系列 適用呼吸機/麻醉機。傳感器可測量最大流量為200SLPM，最小流量達到0.05SLPM可用于嬰幼兒及新生兒的呼吸監測。傳感器有22mm和15mm兩種標準醫用接口規格。

　　FS2000系列 為呼吸機/麻醉機適用。這是世界上第一個大流量、直接雙向測量的傳感器，可測量120SLPM的流量。它還能進行0到±20SLPM/±120SLPM的量程轉換。它適用于小兒、新生兒及成人呼吸機高端產品。

　　FS3000系列 專門為肺活量儀及肺功能儀適用。傳感器可測量最大流量為1200 SLPM。傳感器的響應速度比現有所有應用于肺功能儀的其它技術都要快很多。這使得通過精確監測呼吸流量變化，從而準確檢驗、診斷人體呼吸系統的疾病成為可能。