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MD-PS001 壓力芯片

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主要規(guī)格：

用　　途：

　　MD-PS001壓力傳感器采用硅微機(jī)械加工技術(shù)制造。采用各向異性腐蝕技術(shù)和硅硅直接鍵合技術(shù)在硅片內(nèi)部形成一個(gè)長期穩(wěn)定的真空基準(zhǔn)壓力參考腔，在表面硅膜上用集成技術(shù)制作成惠斯頓應(yīng)變?nèi)珮颍捎脟H最先進(jìn)的MEMS技術(shù)生產(chǎn)的1×1mm的硅壓阻傳感器芯片，從而在受力時(shí)輸出與壓力成線性關(guān)系的電壓信號(hào)。　　應(yīng)用領(lǐng)域：　　汽車：TPMS，胎壓，診斷儀，氣泵，蒸汽和懸置機(jī)構(gòu)控制，絕壓傳感器。　　工業(yè)：空氣壓力控制，電纜泄漏檢測，便攜式壓力計(jì)，壓力開關(guān)和控制器。　　消費(fèi)品：手持胎壓計(jì)，高度計(jì)和氣壓測定儀。　　醫(yī)療：病人監(jiān)控和診斷設(shè)備，血壓計(jì)。　　科研：空氣動(dòng)力學(xué)用微型絕壓傳感器及通用絕壓傳感器　　特征：　　固態(tài)元件，三維集成MEMS工藝制造，可靠性高。　　無應(yīng)力設(shè)計(jì)與制造，嚴(yán)格自補(bǔ)償濃度控制，穩(wěn)定性好。　　標(biāo)準(zhǔn)壓力范圍：0～100kpa, 0～200kpa, 0～700kpa，0～1700kpa，0～3400kpa。　　微型尺寸1mm×1mm×0.5mm壓阻傳感技術(shù)，硅／硅鍵合芯片，穩(wěn)定性好。　　使用方便，適合于任何陶瓷、PCD板、TO-8、塑膠微電子封裝。　　所有晶片都是以保護(hù)性的塑料容器運(yùn)輸。晶片被粘在塑料盤上，所有晶片被電子探頭和視覺檢查。　　技術(shù)參數(shù)：　　最小值典型值最大值單位備注壓力特性壓力量程100KPa 200KPa 350KPa 700KPa 1700KPa 3500KPa 　　15PSI 30PSI 50PSI 100PSI 250PSI 500PSI 最大壓力2倍破壞壓力4倍電氣性能激勵(lì)電壓 3 5.0 12 V 激勵(lì)電流 1 3 mA 輸入阻抗 4 5 6 KΩ 輸出阻抗 4 5 6 KΩ 輸出范圍(FS范圍)150KPa 60 80 100 mV 700KPa 70 100 150 mV 1700KPa 80 120 180 mV 零位輸出 -25 25 mV 性能指標(biāo)滿度溫度系數(shù) -0.24 -0.19 -0.15 %FS/℃恒壓供電零位溫度系數(shù) -0.07 0.07 %FS/℃ 電阻溫度系數(shù) 0.24 0.27 0.33 % /℃ 線性度 -0.25 0.15 +0.25 %FS 遲滯和重復(fù)性 ±0.10 %FSO 長期穩(wěn)定性 ±0.20 %FSO 工作溫度 -40 +125℃ 存儲(chǔ)溫度 -55 +150℃ 兼容介質(zhì)潔凈、干燥、無腐蝕性氣體1、所有測試值相對(duì)22℃1mA恒流供電2、在0-70℃，溫度系數(shù)為典型值。

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孟寧

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