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無(wú)掩膜光刻機(jī)銷(xiāo)售 昊量供 上海無(wú)掩膜光刻機(jī)供應(yīng)
- 這真不是您需要的產(chǎn)品?
- 品 牌:
- 美國(guó)Hinds Instruments公司
- 主要規(guī)格:
- DMD無(wú)掩膜光刻機(jī)
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AU-PALET光刻機(jī)是一款緊湊的DMD式無(wú)掩膜光刻機(jī)擁有高速、廣范圍、低價(jià)格、高分辨率、操作簡(jiǎn)單和可靠性高等特點(diǎn)。
DMD式無(wú)掩膜光刻機(jī)無(wú)需制造掩膜,采用DMD數(shù)字掩膜,可在抗蝕劑內(nèi)曝光所希望的任意圖案。無(wú)掩膜光刻機(jī)可以讀取任何CAD數(shù)據(jù),除此之外DMD式無(wú)掩膜光刻機(jī)還可以讀取Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等其它格式。DMD式無(wú)掩膜光刻機(jī)使用365nmLED光源,降低價(jià)格的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的曝光。采用10倍物鏡,一次曝光面積可達(dá)1mm′0.6mm,曝光時(shí)間僅需1s。結(jié)合電動(dòng)移動(dòng)平臺(tái),可實(shí)現(xiàn)曝光拼接,分辨率可達(dá)到3mm。可通過(guò)公司編寫(xiě)的軟件完成詳細(xì)設(shè)定,使操作簡(jiǎn)潔方便。
與傳統(tǒng)的光刻機(jī)不同,AU-PALET光刻機(jī)采用DMD數(shù)字掩膜光刻技術(shù),無(wú)需制造掩膜。大大降低了時(shí)間和成本。無(wú)掩膜光刻機(jī)可以讀取任何創(chuàng)建的CAD文件,直接進(jìn)行光刻。除了CAD文件,還可以讀取豐富的其它格式的數(shù)據(jù),例如Bitmap, PNG, DXF, GDSⅡ等。
AU-PALET DMD式無(wú)掩膜光刻機(jī)采用短波段的LED燈為光源,相對(duì)于其它的光源,擁有更高的穩(wěn)定性和更長(zhǎng)的壽命,降低價(jià)格的同時(shí)實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的曝光。AU-PALET 無(wú)掩膜光刻機(jī)為面曝光,采用10倍的物鏡,一次曝光面積可達(dá)到1mm′0.6mm,結(jié)合電動(dòng)平移臺(tái)可實(shí)現(xiàn)曝光拼接,可達(dá)到更大的曝光面積。可通過(guò)公司編寫(xiě)的軟件完成簡(jiǎn)單操作和詳細(xì)設(shè)定,操作簡(jiǎn)潔方便。
上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的DMD式無(wú)掩膜光刻機(jī)有兩種。
① AU-PALET是一款快速光刻的無(wú)掩膜光刻機(jī)。本裝置采用375nm的LED光源,實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的曝光,并且擁有更高的穩(wěn)定性和更長(zhǎng)的壽命。采用10′的物鏡曝光面積達(dá)到1mm′0.6mm,光刻分辨率達(dá)到5mm,并在10s 內(nèi)完成曝光。
②AU-PALET-_new 是AU-PALET的升級(jí)版本,在光源上采用波長(zhǎng)更短的365nm的LED燈作為光源,采用10′的物鏡曝光面積達(dá)到1mm′0.6mm,光刻分辨率達(dá)到3mm,并在1s 內(nèi)完成曝光。
u 主要特點(diǎn)
l 高速度(1s)
l 廣范圍(1′0.6mm)
l 365nm LED光源
l 高分辨率 (3mm)
l 成本低
u 主要應(yīng)用
磁性薄膜等的任意形狀的圖案的形成
傳感器,半導(dǎo)體器件的制作
MEMS器件的試制、
光電子,LED的試制
微流體器件的試制
掩膜版制作
細(xì)胞分離通道等的制作
光波導(dǎo)路的制作
上海昊量光電設(shè)備有限公司
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