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上海昊量光電設(shè)備有限公司

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亞納米級(jí)壓電促動(dòng)器 昊量供 上海亞納米級(jí)壓電促動(dòng)器

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  • 品　　牌：
  • 昊量
  • 主要規(guī)格：
  • 齊全
  • 用　　途：
    • 亞納米級(jí)壓電促動(dòng)器 昊量供 上海亞納米級(jí)壓電促動(dòng)器 壓電促動(dòng)器（亞納米級(jí)） 高分辨率！亞納米級(jí)壓電促動(dòng)器！ AU-DPT、AU-MTP和AU-NPS-Z系列為高分辨率的直線壓電陶瓷促動(dòng)器。在126mm的行程中可達(dá)到亞納米分辨率，并且擁有極高的線性度和近乎完美的重復(fù)性。該系列壓電陶瓷促動(dòng)器無(wú)摩擦，已加載預(yù)緊力，彌補(bǔ)了疊堆式壓電陶瓷不能承受拉力的不足的同時(shí)可提供較大的推力，在120mm的行程中可推力可達(dá)到600N。 壓電促動(dòng)器、疊堆壓電陶瓷促動(dòng)器、帶預(yù)緊陶瓷堆疊式壓電促動(dòng)器、柔性機(jī)構(gòu)促動(dòng)器、Nanopositioning Actuator/Translator 壓電促動(dòng)器采用以加預(yù)載力的堆疊式壓電陶瓷，在提供較大推力的同時(shí)還可以承受一定的壓力，彌補(bǔ)了堆疊式壓電陶瓷不能承受壓力的不足。上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電促動(dòng)器擁有極高的分辨率，在126mm的行程中可達(dá)到亞納米分辨率，并且擁有極高的線性度和近乎完美的重復(fù)性。 上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的壓電陶瓷促動(dòng)器主要包含以下幾類(lèi)： ①閉環(huán)高精度壓電陶瓷促動(dòng)器 閉環(huán)壓電促動(dòng)器主要包括AU-DPT-D、AU-DPT-E、AU-NPS-Z-15B和AU-NPS-Z-15L這幾款產(chǎn)品。 AU-DPT-D是一款內(nèi)置電容反饋系統(tǒng)的壓電促動(dòng)器，使其擁有亞納米的分辨率，并且擁有極高的線性度和近乎完美的重復(fù)性，極低的蠕變特性和遲滯性。AU-DPT-D可提供30/50/70/110mm四種不同的閉環(huán)行程，材質(zhì)為不脹鋼（0.35nm/K CTE）具有很好的熱穩(wěn)定性。內(nèi)置預(yù)載力的堆疊式壓電陶瓷，在整個(gè)行程中可提供高達(dá)60kg的移動(dòng)質(zhì)量，并且有較低的電子噪聲和高的線性度。此外還提供超高真空版本，工作壓強(qiáng)范圍可從10 -3 到 10 -10 Torr。 AU-DPT-E是AU-DPT-C的升級(jí)產(chǎn)品，可提供20/50/110mm三種不同行程的版本，與AU-DPT-D性能相似但其擁有更小的直徑。同時(shí)AU-DPT-E系列也提供超高真空版本，工作壓強(qiáng)范圍可從10 -3 到10 -9 Torr。 AU-NPS-15L是高荷載大推力的壓電陶瓷促動(dòng)器。該促動(dòng)器內(nèi)置電容位移傳感器，在全15mm行程中分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)別，遲滯性<0.02%，直線誤差為<0.01%。采用不脹鋼材質(zhì)及特殊的設(shè)計(jì)，具有極低的熱漂移和高的剛度，因此具有極高的穩(wěn)定性和高的負(fù)載，其大負(fù)載可達(dá)到15kg。采用獨(dú)特的優(yōu)化機(jī)械設(shè)計(jì)，空載自振頻率可到達(dá)8000Hz。 NPS-Z-15L Ultra High Load Closed Loop 15 Micron Actuator ②開(kāi)環(huán)壓電陶瓷促動(dòng)器 開(kāi)環(huán)壓電促動(dòng)器主要包括AU-MPT系列，該壓電促動(dòng)器為有預(yù)載力的壓電陶瓷，不但可以提供較大的推力還可以承受一定的拉力。AU-MTP系列促動(dòng)器可提供15/30/45/75/105mm五種不同行程設(shè)備。采用不銹鋼材質(zhì)以及極高剛度的設(shè)計(jì)，這一特點(diǎn)使其促動(dòng)器在Z軸方向大加載可達(dá)到10kg。如果需要閉環(huán)系統(tǒng)，AU-MTP系列促動(dòng)器可以和位置檢測(cè)系統(tǒng)結(jié)合使用，提供亞納米的分辨率。 MTP 15/30/45/75/105 ③閉環(huán)柔性機(jī)構(gòu)促動(dòng)器 AU-NPS-15B是內(nèi)置電容位移傳感器的具有柔性機(jī)構(gòu)的壓電促動(dòng)器。柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)可以去除側(cè)向力，一定程度上避免了側(cè)向力對(duì)促動(dòng)器的損害。采用不脹鋼材質(zhì)，擁有好的的熱穩(wěn)定性。該促動(dòng)器擁有極高的分辨率在15mm的行程中分辨率可達(dá)到亞納米級(jí)別。內(nèi)置位移傳感器可減少遲滯性、非線性和蠕變性。該產(chǎn)品常規(guī)的遲滯性<0.005%,直線性誤差<0.01%。空載自振頻率可達(dá)到2400Hz，擁有極快的響應(yīng)速度。 NPS-Z-15B Flexure Guided 15 Micron Actuator u 主要特點(diǎn) l 多種外徑尺寸可供選擇 l 亞納米分辨率 l 加載預(yù)載力可動(dòng)態(tài)使用 l 可提供超高真空、硬輻射、低溫非磁性和高溫版本 l 低的遲滯、蠕變性 l 無(wú)摩擦 l 柔性機(jī)構(gòu)導(dǎo)向 l 低噪聲、高線度 l 亞納米重復(fù)性 u 主要應(yīng)用 干涉度量學(xué)、光束校準(zhǔn)、空腔調(diào)諧、計(jì)量學(xué)、顯微操作、制作納米位移設(shè)備、度量學(xué)等。 具體詳情請(qǐng)聯(lián)系昊量02151083793

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