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PORTER P2000i系列和D2000i系列液體質量流量控制器

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設計特點 • 壓電式控制閥 • 金屬密封結構 • 響應時間快 • 設計緊湊 • 316L/316SS不銹鋼結構 • 高精度達± 1％ P2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對小流量液體進行快速、精確控制的領域。其簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。獨特的熱式測量系統提供精確的測量，同時液體溫度上升小于5度。高級的控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可提供對小流量液體進行快速、穩定的控制。 P2000i系列同時也包括有一個液體質量流量計，用于那些不需要進行流量控制的場合。 D2000i系列液體質量流量控制器被設計用于要求對液體快速、精確控制的半導體制造工藝。數字控制回路和一個壓電激勵隔膜控制閥可讓響應時間小于1秒。潔凈空間內的裝配工藝和全金屬密封結構確保（高純度和泄漏完整性）。獨特的層流旁路和傳感器部件提供精確的測量，同時液體溫度僅上升5度，此外，D2000i的簡單化系統集成使它具有緊湊的包裝尺寸。液體流量計和控制器技術參數流量范圍： P2000i系列和D2000i系列液體流量控制器是以異丙醇（IPA）來標定的，在測量其它液體介質時需要乘以一個校正系數，具體請參考表一響應時間： P2000i系列： 2s（設定點的2％之內） D2000i系列：＜1s（流量的5％之內）精度和線性：± 1％滿量程（P2000i系列）；±1％讀數（D2000i系列）重復性： P2000i系列：＜±0.2％滿量程（任意連續溫度下） D2000i系列：＜±0.2％讀數量程比： P2000i系列：50：1（2％-100％滿量程） D2000i系列：20：1（5％-100％滿量程）最大操作溫度： 40℃（104℉）最大操作壓力： 125PSIG 溫度系數：＜ 0.1％/℃ >設定點輸入 /流量輸出信號： 0-5VDC/0-5VDC（輸出流量信號時：需最小2KΩ電阻）供電電源：﹢ 15VDC±10％（電流消耗＜200mADC時）泄露率： 1х10 -9 atm.cc/s He 預熱時間： 10分鐘（P2000i系列）；20分鐘（D2000i系列）電氣連接： 9針D型入口 /出口過程連接： 1/8″Male VCR或1/8″Swagelok 控制閥：壓電式常開內置容積：＜ 0.71ml（P2000i系列）；＜1ml （D2000i系列）重量：≤ 0.68Kg 結構材質主體： 316LSS 傳感器組件： 316LSS 閥構成部件： 316LSS（D2000i系列）；302SS和316LSS（P2000i系列） “ O”型環：316LSS

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朱小姐

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