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美國AALBORG質量流量計

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    • 美國AALBORG質量流量計 Instruments & Controls, Inc成立于1972年，是世界上著名的氣體質量流量計/控制器的生產 廠家，其產品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學 、石油化工、醫藥、環保等領 域。產品特點：性價比高、響應速度快、可靠性高，易于集成、環路保護、備總 量計數器典型應用：CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、 表面處理等鍍膜工藝 。設計特點：－剛性金屬結構 －流程范圍從0開始到10 sccm直到0到1000slpm －最大壓力500psig（34.5Bar） －泄漏率1＊10-7氦 氣 －NIST系統標定可追蹤的證明 －可傾斜的LCD讀表 －0-5Vdc或4-20m A信號輸出 －電路保護 －可用作便攜式的設備 －0到100％比例顯示 －可 配備流量計算機 精度：±1.5％滿量程，包括59℉到77℉的氣體溫度（1 5℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力。可選±1％滿量程（ 標定精度），在給定的溫度與壓力值條件下。 重復性：±0.5％滿量 程 回應時間：實際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒 溫度系數： 0.15％滿量程／℃ 壓力系數：0.01％滿量程／psi（0.07bar） 氣體 ／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃） 輸出信號：0-5Vdc，最小 1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出：＋12Vdc； 最大200Ω。

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