X軸 | 測量范圍 | 50mm(CV-1000)或100mm()CV-2000 |
分辨率 | 0.2μm |
測量方法 | 反射型光柵尺 |
驅動速度 | 0.2mm/s\\\\1mm/a和手動 |
測量速度 | 0.02-5mm/s |
測量方向 | /向后 |
直線度 | 3.5μm /50mm 1.5μm/mm(當X軸在水平方向上 |
指示精度 (20℃) | ±(3.5+2L/100)μm L為驅動長度(mm) |
傾斜范圍 | ±45°(CV-2000) |
Z1軸 | 測量范圍 | 25mm(CV-100)或40mm(CV-2000) |
分辨率 | 0.4μm(CV-1000系列) 0.5μm(CV-2000系列) |
測量方法 | 弧形編碼器 |
指示精度 (20℃) | ±(3.5+14H/25)μm) H為水平位置上的測量高度(mm) |
探針上下運作 | 弧形運動 |
探針方向 | 向下 |
測力 | 10-30mN |
跟蹤角度 | 向上 | 77° |
向下 | 87° |
探針針尖 | 半徑 | 25μm |
材料 | 硬質合金針尖 |
基座尺寸(WxH) | 750x600mm(CV-2000) |
基座材料 | 花崗巖(CV-2000) |
重量 | 主機 | 5kg(CV-10000N2)、115.8kg(CV-2000M4)、124kg(CV-2000S4) |
控制裝置 | 14kg |
遙控箱 | 0.9kg |
電源 | 100-240VAC±10% 50/60Hz |
能耗 | 150W僅限主機 |