檢測認證人脈交流通訊錄
SEM EDS 表面成分分析 形貌觀察
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對應法規：GB/T 17359
CNAS認可項目：是
- 掃描電子顯微鏡（SEM）
X射線能譜儀（EDS）
掃描電子顯微鏡利用二次電子或背散射電子成像，對樣品表面放大一定的倍數進行形貌觀察，最大放大倍數可達30萬倍，同時利用電子激發出樣品表面的特征X射線來對微區的成分進行定性定量分析。
SEM分辨率3納米
背散射電子成像分辨率300納米
EDS成分分析的元素范圍Be-U
分析深度1微米
檢測下限1%
測試范圍與服務項目：各種固體材料的形貌分析、微區化學成分檢測，樣品成分的線分布和面分布分析。
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