測(cè)定超痕量元素和同位素比值的儀器。由等離子體發(fā)生器，霧化室，炬管，四極質(zhì)譜儀和一個(gè)快速通道電子倍增管(稱為離子探測(cè)器或收集器)組成。其工作原理是:霧化器將溶液樣品送入等離子體光源，在高溫下汽化,解離出離子化氣體,通過(guò)銅或鎳取樣錐收集的離子,在低真空約133.322帕壓力下形成分子束,再通過(guò)1~2毫米直徑的截取板進(jìn)入四極質(zhì)譜分析器，經(jīng)濾質(zhì)器質(zhì)量分離后，到達(dá)離子探測(cè)器，根據(jù)探測(cè)器的計(jì)數(shù)與濃度的比例關(guān)系,可測(cè)出元素的含量或同位素比值。其優(yōu)點(diǎn)是:具有很低的檢出限(達(dá)ng/ml或更低)，基體效應(yīng)小,譜線簡(jiǎn)單，能同時(shí)測(cè)定許多元素，動(dòng)態(tài)線性范圍寬及能快速測(cè)定同位素比值。地質(zhì)學(xué)中用于測(cè)定巖石、礦石、礦物、包裹體，地下水中微量、痕量和超痕量的金屬元素，某些鹵素元素、非金屬元素及元素的同位素比值。