檢測認證人脈交流通訊錄
硅研磨片及拋光片表面金屬含量檢測
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對應法規：
CNAS認可項目：是
- 硅片表面金屬沾污的全反射X光熒光光譜測試方法GB/T24578-2009,代替使用全反射X光熒光光譜測量硅片沾污的測試方法 SEMI MF1526-1103
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