檢測認證人脈交流通訊錄
硅研磨片及拋光片少數載流子壽命及擴散長度檢測
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對應法規：
CNAS認可項目：是
- 非本征半導體中少數載流子擴散長度的穩態表面光電壓測試方法YS/T679-2008,用穩態表面光電壓法測量硅中少數載流子擴散長度的標準方法 SEMI MF391-0708,硅片載流子復合壽命的無接觸微波反射光電導衰減測試方法GB/T26068-2010,用微波反射非接觸光電導衰減方法測試硅晶片載流子復合壽命的方法 SEMI MF1535-0707
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