主要技術指標:真空室尺寸:離子束室為φ500×450,濺射室為φ560×300,進樣室為φ250×400極限真空:離子束室為6.6×10-6Pa,濺射室為6.6×10-6Pa,進樣室為6.6×10-4Pa。
主要附件及功能:功能及應用范圍:可用于開發納米級的單層及多層功能膜-各種硬質膜、金屬膜、半導體膜、介質膜等。儀器主要附件:計算機控制軟件。
主要測試研究領域:農產品和食品,生態環境,材料
儀器聯系人:熊祖洪
電話:023-68367528
開放機時安排:工作日
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