聯系人：張玉文(56338244)

　　儀器簡介：

　　HPR20-QIC精密氣體分析系統(Research Grade System for Continuous Sampling Gas/Vapour Analysis)是一臺完備的臺式氣體分析系統，用于監測氣體和過程分析，便于生產、研究使用.

　　主要技術指標：

　　高效、柔韌、加熱(直到200℃)石英惰性毛細管(QIC)

　　·QIC直接進樣，對氣體、蒸氣的響應時間<500ms

　　·1～20 cm3 / min連續進樣

　　·取樣壓力：10 mbar～2 bar

　　·高壓取樣接口至30 Bar

　　·自動流量控制界面，以恒定離子源壓力

　　·液氮低溫板，增強對可凝結的背景氣體的抽吸

　　·靈敏度高(至5 ppb),質量數至510 amu

　　·軟離子化技術，分析復雜有機物

　　·穩定性(24h以上，峰高變化小于±0.5% )

　　·通過RS232、RS485或以太網，軟件MASsoft控制

　　·定量分析方法

　　應用范圍：

　　·過程監測

　　·在線分析

　　·污染物研究

　　·CVD / MOCVD

　　·環境氣體分析