聯(lián)系人：徐靜(18616382643)

儀器簡(jiǎn)介：

　　1.儀器主體為兩室結(jié)構(gòu)，分別是分析室以及樣品制備室兼進(jìn)樣室。

　　2.超高真空分析室內(nèi)應(yīng)實(shí)現(xiàn)單色化XPS、雙陽(yáng)極XPS、成像XPS、深度剖析XPS、電荷中和、離子散射譜ISS、能量損失譜REELS、自動(dòng)化五軸樣品臺(tái)及樣品加熱冷卻等功能；

　　3.樣品制備室能實(shí)現(xiàn)大束斑離子清潔、至少三個(gè)樣品托的停放臺(tái)以及超高真空監(jiān)測(cè)等功能，并額外具備可安裝樣品斷裂臺(tái)以及樣品加熱冷卻臺(tái)的法蘭口等功能。

主要技術(shù)指標(biāo)：

　　1.最佳能量分辨率:0.45ev

　　2.最佳空間分辨率:3μm

　　3.單色光源最佳靈敏度:>325kcps@0.6eV(300μm束斑,Al KαAg3d5/2峰)

　　4.分析室最佳真空度:5.0×10-10mba

　　5.離子槍束斑:20μm -900μm

應(yīng)用范圍：

　　主要用于固體材料的表面的化學(xué)組成、價(jià)態(tài)，深度剖析及成像等綜合分析與表征技術(shù)的研究，滿足各種條件下的表面分析的科研需要。