檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：電子束光刻E-beam
- 價格型號：Raith150-Two
- 儀器分類：刻蝕設備
- 應用領域：
- 所屬單位：蘇州生物醫學工程技術研究所
- 所在地點：
- 產 地：
- 產 商：Raith
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
技術指標：1.熱場發射肖特基源 2.電子束能：20 eV-30 keV之間可調 3.最小束斑 2nm 4.最小特征尺寸 <= 10 nm 5.拼接精度 <= 35 nm 6. 套刻精度 <= 35 nm 7. 最小光柵周期 <= 40 nm 8. 最大晶片尺寸100 mm 9. 束斑形狀 高斯圓形束 10. 束路徑是無cross-over的模式，可獲得極高束流密度 11. 電子束電流 5pA-20nA
儀器用途：應用于低溫電子器件、光電子器件、量子結構、輸運機制、微機電系統（MEMS）等領域
收費標準：800元/小時，包括光刻膠費用
機組負責人：張志強 0512-69588058 15250478263 zhangzq@sibet.ac.cn
