技術指標:1.光刻分辨率<2um; 2.曝光面積150mm*150mm; 3.掩模尺寸6英寸;
儀器用途:微電子, 微光學,MEMS, 生物芯片等
收費標準:200元/樣品
機組負責人:芮延年 倪俊芳 顧軍 0512-67162186
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