技術指標:垂直測量范圍:400微米,垂直分辨率:0.1nm(范圍小于10微米),1nm(范圍小于100微米),6.2nm(范圍小于400微米)
儀器用途:測量臺階高度
收費標準:400元/樣品
機組負責人:劉全 陳林森 0512-65112711
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