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機(jī)構(gòu)登錄
機(jī)構(gòu)登錄
檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：光刻機(jī)
- 價(jià)格型號：PIONEER
- 儀器分類：其他
- 應(yīng)用領(lǐng)域：
- 所屬單位：蘇州大學(xué)設(shè)備
- 所在地點(diǎn)：
- 產(chǎn) 地：
- 產(chǎn) 商：德國 RAITH
- 價(jià) 值：0
- 購置日期：0000-00-00
技術(shù)指標(biāo)：電子束斑：1kV加速電壓時(shí)小于4nm，20kV加速電壓時(shí)小于2nm；束流大小漂移：小于0.5%/8小時(shí)；束斑位置漂移：小于300nm/小時(shí)
儀器用途：電子束輔助沉積
收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：1500元/小時(shí)
機(jī)組負(fù)責(zé)人：胡志軍 15051466086 zhijun.hu@suda.edu.cn
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