檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：高真空電子束微觀監測刻蝕系統
- 價格型號：EVO MA10
- 儀器分類：刻蝕設備
- 應用領域：
- 所屬單位：江蘇大學
- 所在地點：
- 產 地：
- 產 商：德國Zeiss公司
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
技術指標：分辨率: 3.0nm@30KV（SE and W）2.0nm@30KV(SE with Lab6 option) 4.5nm@30KV(VP with BSD)；加速電壓: 0.2―30KV；放大倍數: 7―1000000x；視野范圍: 6mm；X-射線參數: 8.5mmWD，35度接收角；壓力范圍: 10―400Pa；工作室: 310mm(φ)×220mm(h)；5軸試樣載物臺: X=80mm Y=100mm Z=35mm T=0-90°R=360°；最大試樣高度: 100mm；最大試樣直徑: 200mm；系統控制: 基于Windows XP的SmartSEM。
儀器用途：高真空條件下對金屬、無機、聚合物、生物生命組織等多種材料、各種微結構進行結構表征和功能器件物理性能測試，以及具有納米高空間分辨條件下進行電子束加工、改性等。
收費標準：電話聯系商議
機組負責人：李保家 13913443010
