技術指標:曝光面積:100mm 分辨力:1.7mm(膠厚2 mm的正膠) 對準精度:±1mm 掩模尺寸:2.5寸、3寸、4寸、5寸樣片尺寸:直徑f15mm~f100mm 厚度:0.1mm~6mm 照明均勻性: ±5%
儀器用途:硅片、玻璃片、陶瓷片、寶石片等的曝光刻蝕。
收費標準:計件收費:校外50元/試樣;校內30元/試樣
機組負責人:姚紅兵 13705283569
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