技術指標:輸出:最大管電壓:90KV;最大管電流:0.1mA;驅動速度:X、Y方向各5段速度,約0.3~30mm/sec;驅動方式:X、Y、Z方向均用5相步進馬達驅動。
儀器用途:本設備通過搭載的小焦點,高感度的Ⅱ CAMERA 和CCD CAMERA 系統,具有高倍率、高解析度的新銳機。充分地發揮能檢出電子部品中存在的微小缺陷的優良性能。
收費標準:300元/小時
機組負責人:陸亞平 86726021
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