技術指標:掃描長度:0.05-30mm;樣品最大厚度:20mm;豎直分辨率/量程:1.5Å/10µm;15Å/100µm;62Å/400µm;
儀器用途:用于薄膜材料樣品的膜厚、表面輪廓、平整度、薄膜應力等的測量
收費標準:無
機組負責人:李子全 025-84895871
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