技術指標:系統到達真空 <5×10-10 torr;最小X射線斑束<9.0μm 在x方向;<9.0μm 在y方向; XPS靈敏度> 15kcps <10.0 μm ;能量分辨率<0.60 eV ;離子槍最大電流 >5.0 μA @ 5 kV
儀器用途:測試表面元素組成,進行定性和定量分析。
收費標準:400元/樣品
機組負責人:楊加志 025-84317316 jiazhiyang@sina.com
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