技術指標：分析室真空度：烘烤后優于7×10-8Pa；平行成像空間分辨率：優于3µm； Al Kα單色化XPS功率：600W；300×700µm XPS：0.48eV@400kcps；110µm XPS：0.48eV@75kcps；15µm XPS：0.48eV@0.65kcps；PET 上O-C=O 的C 1s的FWHM≤0.68eV時C-H的C 1s強度≥15kcps。 本儀器裝備了高功率Al單色化源和雙陽極，五軸常中心樣品臺，165mm半球分析器，DLD延遲線檢測器，全自動單電子源荷電中和系統，分析室離子槍，預處理室和分析室加熱制冷附件，ISS套件等；可對樣品表面幾個原子層厚度的元素分布和價態進行定性和定量分析、成圖分析；還可根據要求，進行原位離子刻蝕，原位加熱制冷試驗工作。

儀器用途：用于固體材料的表面（2～3nm深度）元素成分和價態的定性和定量分析，是材料學中不可缺少的工具；對于林產化學、生物高分子、造紙工程、林產精細化工等材料的表面納米量級的元素成分及其化學狀態具有非常重要的意義。

收費標準：請與南京林業大學現代分析測試中心業務室聯系。

機組負責人：測試中心  025-85485476  aatc@njfu.edu.cn