檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：高能離子注入機
- 價格型號：NV-GSD/HE
- 儀器分類：其它
- 應用領域：
- 所屬單位：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
- 所在地點：
- 產 地：
- 產 商：SUMITOMO
- 價 值：0
- 購置日期：0000-00-00
技術指標：注入能量：10keV～1MeV（單價離子）; 注入劑量：1E11～1E17 ions/cm2; 角度：±11°; 樣品：6英寸（向下兼容），17片; 目前可進行硼、磷、氟、鋁、氮、氬等離子注入.
儀器用途：離子注入機是半導體器件摻雜工藝的關鍵設備，注入過程中可對劑量、能量、角度進行精確控制，從而改變半導體的載流子濃度與導電類型
收費標準：1600元/小時
機組負責人：張嬪 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn
