技術指標：樣品大小： 1、標準片（φ2/4/6英寸）;2、小片（＜2寸大于10mm*10mm);3、晶圓厚度＜3mm。光刻膠類型： 1、AZ5214（厚度1.6~2.5μm，可反轉）; 2、AZ6112（1.0~2.0μm，正膠）; 3、AZ4620（厚度8~30μm，正膠）; 4、雙層（底層LOR10A，20B，30B）; 分辨率要求：1、大于1μm 2、小于1μm。對準要求：1、大于±1μm 2、小于±1μm。委托加工起約 1小時 +++++++++注意：12：00前預約2寸或者2寸以下的小片工藝（片子大于10mm*10mm），12:00后預約2、3、4、6整片工藝+++++++++ 工藝參數填寫完整：片子大小、光刻膠類型，如未填寫，審核時不予以通過！光刻預約必須預約者本人到場做工藝，不可他人替代。

儀器用途：寬帶光源，紫外接近，接觸式光刻，可實現雙面對準。最大曝光面積φ150mm。分辨率：2μm。套刻精度：±1μm。 +++++++++注意：12：00前預約2寸或者2寸以下的小片工藝（片子大于10mm*10mm），12:00后預約2、3、4、6整片工藝+++++++++ 工藝參數填寫完整：片子大小、光刻膠類型，如未填寫，審核時不予以通過！光刻預約必須預約者本人到場做工藝，不可他人替代。委托加工起約 1小時

收費標準：400/30分鐘

機組負責人：張嬪  051262872625  pzhang2008@sinano.ac.cn