技術(shù)指標(biāo)："蒸發(fā)速率0.1A/s-20A/s，預(yù)蒸發(fā)功率10%-45%，蒸發(fā)功率0-60%，蒸發(fā)厚度：普通金屬（Ni、Al、Ti）5nm-2000nm，貴重金屬（Au、AuGe）5nm-500nm；工作真空：5E-4Pa，溫度：20-300℃ *有揮發(fā)性物體嚴(yán)禁進(jìn)入腔室。 *如需使用除硅片、藍(lán)寶石、玻璃片以外的襯底進(jìn)行該工藝，請聯(lián)系設(shè)備負(fù)責(zé)人。 *三層及三層以內(nèi)金屬總厚度在350nm以內(nèi)，1.5小時(shí)起預(yù)約。三層以內(nèi)金屬總厚度超出350nm和三層以上金屬，2小時(shí)起預(yù)約。 *預(yù)約工藝請選擇工藝所需金屬及厚度，填寫金屬及厚度需真實(shí)，由于客戶填寫金屬及厚度與實(shí)際工藝金屬及厚度有誤，工藝員有權(quán)取消該次工藝，由此產(chǎn)生的費(fèi)用有客戶自己承擔(dān)。如填寫該工藝的金屬及厚度有疑問，請聯(lián)系設(shè)備負(fù)責(zé)人。

儀器用途：主要用于蒸發(fā)Ti、Al、Ni、Au、AuGe、Cr、Pt等金屬薄膜，蒸發(fā)速率0.1A/s-20A/s可調(diào)，最大蒸發(fā)厚度可至2000nm。一次可蒸鍍兩寸片180片，四寸片和六寸片8片，向下尺寸兼容，薄膜不均勻性≤±5%。最少1.5小時(shí)起預(yù)約。由于加班時(shí)無人員輪換，每日18:00-19:00時(shí)為加班人員短暫休息和用餐時(shí)間，涉及到貴重金屬的使用，工藝時(shí)需有工作人員在場，非工藝特別趕的情況，請盡量避開預(yù)約此段時(shí)間。

收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：大夾具(180片2寸) Au及合金: 600元/小時(shí)＋300元/次工藝＋250元/層＋240元/10nm； 其它金屬(Al,Cr,Ni等): 600元/小時(shí)＋320元/次工藝＋200元/100nm。 小夾具(3片2寸)： 600元/小時(shí)＋300元/次工藝＋250元/層＋80元/10nm；

機(jī)組負(fù)責(zé)人：張嬪  0512-62872625  pzhang2008@sinano.ac.cn