檢測認證人脈交流通訊錄
技術指標:Transducers :15MHz/30MHz/50MHz/100MHz/230MHz Area Access Scanner :327mm×314mm Scan resolution:X/Y ± 0.5 μm Scan Mold :A, B, C, T, Q-BAM Image Resolution :2048×2048
儀器用途:超聲掃描是利用不同材料對超聲波聲阻抗不同,對聲波的吸收和反射程度不同,來探測半導體、元器件的結構、缺陷、對材料做定性分析,是目前納米技術研究中非常重要的無損檢測手段。
收費標準:120/30分鐘
機組負責人:張嬪 0512-62872625 pzhang2008@sinano.ac.cn


