主要技術指標：掃描范圍100 um (微米)，縱向分辨率優于1 A (埃)，橫向分辨率優于1 nm (納米)。

功能/應用范圍：掃描探針顯微鏡(SPM)的納米量級的分辨率和光學顯微鏡的方便性相結合，使得本儀器能更廣泛地應用于科學研究和工業領域。其應用范圍包括：1.表面和材料科學。2.集成電路制造工藝中的測試。3.生物應用。4.薄膜質量評估。5.失效分析

技術特色：針對各類物理、機械、電子、化學、生物樣品均能提出對樣品制備的要求和建議，給出正確的測試方案；在測試完成后，幫助用戶進行數據、曲線和圖像的評估和分析

要測試和研究領域：材料/珠寶首飾    電子/信息技術其他

收費標準：其它收費方式

儀器負責人：朱國棟 電話：02165642872

電子郵件：gdzhu@fudan.edu.cn