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南京大學(xué)國(guó)資處

檢測(cè)認(rèn)證人脈交流通訊錄
  • 儀器名稱(chēng)：電子束光刻機(jī)
  • 價(jià)格型號(hào)：e-LiNe
  • 儀器分類(lèi)：其他
  • 應(yīng)用領(lǐng)域：其他
  • 所屬單位：南京大學(xué)國(guó)資處
  • 所在地點(diǎn)：南京市鼓樓區(qū)漢口路22號(hào)
  • 產(chǎn)　　地：
  • 產(chǎn)　　商：Raith
  • 價(jià)　　值：6733000 元/臺(tái)
  • 購(gòu)置日期：2009-03-01

　　技術(shù)指標(biāo)

 

　　電子束斑：1kV加速電壓時(shí)小于4nm，20kV加速電壓時(shí)小于2nm；束流大小漂移：小于0.5%/8小時(shí)；束斑位置漂移：小于300nm/小時(shí)。

 

　　儀器用途

 

　　微納結(jié)構(gòu)加工。

南京大學(xué)國(guó)資處

胡　凱

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  • 地址：
  • 南京市鼓樓區(qū)漢口路22號(hào)

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