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機(jī)構(gòu)登錄
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檢測認(rèn)證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：感應(yīng)耦合等離子刻蝕系統(tǒng)
- 價(jià)格型號(hào)：ICP 180
- 儀器分類：工藝實(shí)驗(yàn)設(shè)備
- 應(yīng)用領(lǐng)域：儀器儀表
- 所屬單位：復(fù)旦大學(xué)物理學(xué)系
- 所在地點(diǎn)：上海市楊浦區(qū)邯鄲路220號(hào)
- 產(chǎn) 地：英國
- 產(chǎn) 商：Oxford公司
- 價(jià) 值：0
- 購置日期：0000-00-00
主要技術(shù)指標(biāo)：樣品尺寸：2,4，6英寸基片，兼容加工小片和碎片；有加熱和冷卻裝置；下電極溫度范圍-150°C…+400°C；刻蝕氣體8路：HBr，SF6，C4F8, CHF3，BCl3, O2, N2, Ar。
功能/應(yīng)用范圍：反應(yīng)離子刻蝕機(jī)通過交變的電磁場在有反應(yīng)氣體的腔室內(nèi)激發(fā)等離子體，通過等離子體中的氣體離子和化學(xué)活性的自由基與材料表面的化學(xué)反應(yīng)和離子轟擊材料表面的物理過程刻蝕材料。反應(yīng)離子刻蝕機(jī)主要用于納米和微米器件的精細(xì)加工，用于硅基材料、介電材料刻蝕、III-Ⅴ族化合物以及金屬薄膜刻蝕。
主要測試和研究領(lǐng)域：儀器/儀表
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