檢測認證人脈交流通訊錄
- 儀器名稱：滑動雙溫區等離子增強沉積系統
- 價格型號：OTF-1200X-II-80SL
- 儀器分類：其他
- 應用領域：其他
- 所屬單位：中南大學
- 所在地點：湖南長沙岳麓區麓山南路932號
- 產 地：中國
- 產 商：合肥科晶材料技術有限公司
- 價 值：0
- 購置日期：2013-12-18
主要技術指標：1雙溫區，溫度梯度最大可達200℃。最高工作溫度1100℃。2等離子發射源的輸出功率為5-500W，射頻頻率為13.56MHZ，反射功率最大為200W，自動匹配，射頻接口為50?，噪音小于50db。冷卻方式為風冷。電源為AC 208-240V,50/60HZ. 3無油真空泵機組，極限真空為10E-3Torr. 4質量流量計精度為0.02%，數字顯示，自動控制。MFC 1范圍：0-100sccm。MFC 2和3范圍：0-200sccm。MFC 4范圍：0-500sccm。5控溫系統可實現最高20℃/min的升降溫速率，可升至最高1100℃。可實現不同的升降溫工藝。
主要應用領域：材料，電子與測量
檢測項目：等離子體化學氣相沉積分析
儀器聯系人：黃寒
聯系人電話：0731-88830323
