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氮氣純度檢測
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項目 指標純度%
高純氮氣、超高純氮氣(N2) 99.999 99.9997 99.9999
雜質含量(ppm) 氧(O2) ≤3 ≤0.5 ≤0.2
氫(H2) ≤1 ≤1 ≤0.5
水份(H2O) ≤3 ≤0.5 ≤0.2
二氧化碳(CO2) ≤3 ≤0.5 ≤0.1
一氧化碳(CO) ≤0.5 ≤0.5
甲烷(CH4) ≤0.2 ≤0.1
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