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  • LED器件及模組領(lǐng)域 Surface morphology、Dimension Measurement 表面形貌、尺寸量測(cè) Optical profiler, SEM, TEM Film type and thickness 薄膜類型及薄膜厚度 SEM/EDS, TEM/EDS Q-well structure 量子井結(jié)構(gòu)分析 SEM/EDS, TEM/EDS Defects (Dislocations) 缺陷分析 TEM Q-Well Periodic Doping Profile 量子井周期摻雜分布 SIMS Defect Isolation 缺陷定位 EMMI、OBIRCH Failure Analysis 失效分析 X-ray，SAM，EMMI，SEM，F(xiàn)IB，TEM ESD Testing 靜電測(cè)試 可靠性測(cè)試
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